Соколов Сергей Иванович
Диссертация
- «Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем»
Искомая ученая степень
- кандидат технических наук
Специальность
- 05.27.06 – технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Совет по защите диссертаций
Статус
- 06.09.2023 по результатам экспертизы в Президиуме ВАК утверждено решение Совета о присуждении ученой степени
Дата защиты
- 18.05.2023
Автореферат просмотреть
Научные руководители
- доктор технических наук, профессор, член-корреспондент НАН Беларуси Емельянов Виктор Андреевич отзыв
- кандидат технических наук, доцент Шершнев Евгений Борисович отзыв
Официальные оппоненты
- Толстопятов Евгений Максимович, д.т.н., доцент, главный научный сотрудник отдела «Физика и механика композиционных систем»государственного научного учреждения «Институт механики металлополимерных систем имени В.А. Белого Национальной академии наук Беларуси» отзыв;
- Голубев Валерий Сергеевич, к.ф.-м.н, заведующий лабораторией лазерной обработки материалов государственного научного учреждения «Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси» отзыв
Оппонирующая организация – Белорусский национальный технический университет отзыв
Отзывы на автореферат
- Отзыв Маркевич М.И.
- Отзыв Игнатовича Ж.В.
- Отзыв Дереченника С.С., Буслюка В.В.
- Отзыв Петлицкого А.Н., Наливайко О.Ю.
- Отзыв Фещенко А.А.
- Отзыв Федосенко Н.Н.
- Отзыв Станчика А.В.
- Отзыв Шульги А.В.
- Отзыв Хило П.А.
Заключение совета по защите диссертаций просмотреть