Наливайко Олег Юрьевич
Диссертация
- «Формирование из газовой фазы функциональных слоёв субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния»
Искомая ученая степень
- кандидат технических наук
Специальность
- 05.27.01 – твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Совет по защите диссертаций
Статус
- 25.01.2023 по результатам экспертизы в Президиуме ВАК утверждено решение Совета о присуждении ученой степени
Дата защиты
- 06.10.2022
Автореферат просмотреть
Научный руководитель
- доктор технических наук, доцент Турцевич Аркадий Степанович отзыв
Официальные оппоненты
Оппонирующая организация
- ГНПО «Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению» отзыв
Отзывы на автореферат
- Отзыв Довгяло Д.А.
- Отзыв Тюрнева Н.В.
- Отзыв Одинокова В.В.
- Отзыв Калинушкина В.П.
- Отзыв Громова Д.Г.
- Отзыв Сырчина В.К.
- Отзыв Дереченника С.С.
- Отзыв Леонтьева А.В.
- Отзыв Хисамова А.Х.
- Отзыв Коваленко Д.Л.
Заключение совета по защите диссертации просмотреть