Кафедра электронной техники и технологии. Анатолий Павлович Достанко
Анатолий Павлович является академиком Национальной академии наук Беларуси, доктором технических наук, профессором, заслуженным изобретателем СССР, заслуженным деятелем науки и техники БССР, дважды лауреатом Государственных премий БССР в области науки и техники (техника) и Республики Беларусь (за учебники), премии Совета Министров БССР, лауреату премии НАН Беларуси, известным ученым в области твердотельной электроники, высокоэффективных пучковых технологий, материаловедения микроэлектроники.
А.П. Достанко родился в д. Обчин Любанского района Минской области. С 1945 г. учился в Обчинской неполной средней школе, затем перевелся в Реченскую среднюю школу Любанского района, которую успешно закончил в 1955 г. В 1957 г. поступил в Таганрогский радиотехнический институт (ТРТИ, первый радиотехнический институт, созданный в СССР в 1952 г.) и окончил его в 1962 г. по специальности "Электронные приборы".
Научно-исследовательской работой в области микроэлектроники А.П. Достанко начал заниматься еще в студенческие годы (1960--1962 гг.): выполнил дипломный проект "Получение р-п-переходов электронной бомбардировкой". Одним из первых в институте по результатам данного проекта создал способ электронно-лучевой полировки материалов (полупроводников, диэлектриков, металлов), который впоследствии был внедрен в производство электронно-лучевых приборов на Нальчинском электровакуумном заводе.
После окончания института А.П. Достанко в 1962 г. был распределен в первую в СССР проблемную лабораторию по микроэлектронике, созданную в Таганрогском радиотехническом институте. Как ученый и педагог он начал формироваться под руководством крупного специалиста в области схемотехники, особенно высоковольтной, зав. кафедрой электровакуумной и полупроводниковой техники кандидата технических наук Г. В. Дудко. Работал младшим научным сотрудником, руководителем сектора по микроэлектронике, начальником отдела электронно-лучевой технологии по проблемам создания электронно-лучевых установок высокого и сверхвысокого вакуума для локального модифицирования твердотельных структур; разработки высоковольтных технологических источников питания и многофункциональных металлических вакуумных камер, которые в начале 70-х гг. в СССР не производились; разработки электрохимических и вакуумных процессов формирования пленочных структур из благородных и тугоплавких металлов и др.
В 1968 г. в Совете Таганрогского радиотехнического института А.П. Достанко защитил кандидатскую диссертацию "Получение и исследование тонкопленочных и эпитаксиальных элементов кремниевых микросхем" (специальность "Микроэлектроника"). После переезда в г. Минск в 1970 г. продолжил работы в этом же направлении в Минском радиотехническом институте, чему немало способствовало создание под его руководством в 1974 г. кафедры технологии радиоэлектронной аппаратуры и формирование на кафедре творческого и квалифицированного коллектива педагогов и научных сотрудников. Им впервые в Беларуси выполнена докторская диссертация по исключительно микроэлектронной специальности "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы и технология их производства" на тему "Исследование и разработка процессов металлизации полупроводниковых приборов", которая была успешно защищена в 1979 г. в Московском институте электронной техники. В диссертации концептуально разработаны общие принципы интенсификации базовых технологий производства БИС и СБИС, проведены теоретические исследования физико-химических процессов при нанесении, удалении и перераспределении веществ в микро- и нанообъемах твердых тел, создан универсальный комплекс программ и определена стратегия их применения при моделировании и оптимизации технологических процессов методами математической статистики и теории планирования эксперимента, проведены глубокие теоретические и экспериментальные исследования характеристик плазмы и ионных пучков инертных, химически активных газов и паров металлов, изучены процессы при обработке микроизделий инфракрасным излучением, разработаны принципы создания высокоинформативного тепловизионного пирометрического оборудования и автоматических систем управления термическими процессами в диапазоне 450--1700 К на его основе.
Формированию А.П. Достанко как ученого и педагога в огромной степени способствовало то, что свою научную и жизненную школу он проходил под руководством своих учителей, крупных ученых и педагогов - академика РАН, лауреата Нобелевской премии доктора технических наук, профессора Ж. И. Алферова и доктора технических наук, профессора Ю. Д. Чистякова.
На протяжении всего периода творческой деятельности А.П. Достанко вносит достойный вклад в развитие науки в области микроэлектроники. Им опубликовано лично и в соавторстве более 600 научных и общественно-политических трудов, в том числе монографии "Пленочные токопро-водящие системы СБИС" (Минск, 1989), "Плазменные процессы в производстве изделий электронной техники" (в 3 т., Минск, 2000-2001), "Ультразвуковые процессы в производстве изделий электронной техники" (в 2 т., Минск, 2002), "Процессы плазменного нанесения покрытий" (Минск, 1999), "Технология и техника прецизионного лазерного модифицирования твердотельных структур" (Минск, 2002), "Модификация поверхности твердых тел в неравновесной газоразрядной плазме" (Минск, 1996), "Познавательные действия в современной науке" (Минск, 1987), "Компьютерное моделирование процессов плазменного напыления покрытий" и др. Монография "Плазменная металлизация в вакууме" (Минск, 1982) удостоена премии Министерства высшего и среднего специального образования СССР. Справочник "Благородные материалы" (Москва, 1984) впервые издан в СССР и впоследствии переиздан в США. Создано около 300 изобретений, большинство из которых используется в народном хозяйстве и учебном процессе, многие запатентованы за границей.
Изобретения, созданные Анатолием Павловичем начиная с 1963 г., являются неотъемлемым звеном материализации фундаментальной науки в цепочке от идеи "на кончике пера" до реального производства изделий микроэлектроники и сосредоточены в таких областях, как многокомпонентные сплавы и химические соединения токопроводящих систем на основе тугоплавких металлов; ионно-лучевая техника и интегральная технология формирования микрогетерогенных структур изделий микроэлектроники на основе металлов, сплавов, химических соединений; формирование пленочных элементов интегральных схем НЧ и СВЧ плазменными методами в химически активных и нейтральных средах; программно-управляемое физико-термическое оборудование инфракрасного нагрева для производства изделий микроэлектроники; контрольно-измерительное и диагностическое оборудование и устройства управляемых технологических процессов микроэлектроники; технологические процессы, материалы и оборудование защитных покрытий, направленных на экономию драгметаллов; технологические процессы формирования элементов интегральных схем по "мокрой" и "сухой" технологии; высокоэффективные процессы для электрической изоляции элементов интегральных схем и их защиты, модульное и вакуумное многофункциональное оборудование. За заслуги в изобретательской деятельности и широкое использование созданных изобретений в народном хозяйстве Указом Президиума Верховного Совета СССР в 1987 г. ему присвоено почетное звание "Заслуженный изобретатель СССР".
За период своей творческой научной деятельности А.П. Достанко создал физико-химические основы процессов модифицирования микрообъемов твердых тел в полислойных композиционных структурах высокоэнергетичными потоками частиц. Он теоретически обосновал и экспериментально реализовал физические явления селективного ионного распыления, фазового расслоения в многокомпонентных пленочных структурах и восходящей диффузии легкого компонента под воздействием ионной бомбардировки; разработал принципы построения интегрированных программно-управляемых модульных технологических систем.
Являясь большим энтузиастом дела, которому он посвятил всю свою жизнь, Анатолий Павлович находился у истоков новых форм организации научных исследований и проведения учебного процесса: являлся руководителем созданных по его инициативе лабораторий двойного подчинения, отраслевой лаборатории МЭП "Технология создания микрогетерогенных структур радиационными электрофизическими методами" и отдела проблемной лаборатории, научно-исследовательского комплекса кафедры современных электронных технологий с элементами хозрасчетной деятельности, лаборатории вакуумных технологий, созданной совместно с Сианским электронным университетом (Китай). Под его научным руководством успешно выполнены две республиканские комплексно-целевые программы по новым технологиям в области электроники ("Металлизация", "Технология") и две государственные научно-технические программы ("Диагностика", "Диагностика, медицинская техника и оборудование"). За разработку и внедрение комплекса высокоэффективных технологических процессов и оборудования для производства изделий микроэлектроники в 1982 г. ему присуждена Государственная премия Белорусской ССР в области науки и техники, а в 1991 г. -- премия Совета Министров Республики Беларусь за разработку и внедрение высокоэффективных ресурсосберегающих технологий.
Около 40 лет А.П. Достанко творчески и результативно занимается педагогической деятельностью. Он является организатором кафедры технологии радиоэлектронной аппаратуры, которая впоследствии была преобразована в кафедру электронной техники и технологии.
С 1986 г. по 1993 г. А.П. Достанко был проректором, первым проректором Минского радиотехнического института и БГУИР. За цикл учебников и учебных пособий для высших и средних специальных учебных заведений по технологии производства ЭВМ, физико-химических и технологических дисциплин радио- и электронно-вычислительного профиля в 1996 г. ему присуждена Государственная премия Республики Беларусь.
А.П. Достанко находился у истоков создания и является организатором национальной системы аттестации научных и научно-педагогических кадров высшей квалификации, в которой создано 25 экспертных советов и 185 советов по защите докторских и кандидатских диссертаций. С декабря 1992 г. по январь 2002 г. он являлся первым Председателем Высшей аттестационной комиссии при Совете Министров Республики Беларусь, Председателем Высшей аттестационной комиссии при Кабинете Министров Республики Беларусь, Председателем Высшего аттестационного Комитета Республики Беларусь, Председателем Государственного Высшего аттестационного Комитета Республики Беларусь.
А.П. Достанко на протяжении всего времени успешно сочетает научную и педагогическую деятельность с большой научно-организационной и общественной работой. С января 1997 г. по сентябрь 2001 г. он являлся членом правительства Республики Беларусь, членом подкомитета по государственным премиям Республики Беларусь в области науки и техники, членом Комиссии по вопросам государственной научно-технической политики при Совете Министров Республики Беларусь, главным редактором созданного по его инициативе и учрежденного ВАК Беларуси журнала "Аттестация", членом редакционных коллегий журналов "Вышэйшая школа", "Весці НАН Беларусі, "Изобретатель", "Материалы, технологии и инструмент", "Горная механика" и ряда научных сборников, членом международного редакционного совета научного журнала "Физическая инженерия поверхности" (Украина), "Электроника и электротехника" (Литва), Председателем Минского областного Совета научных и инженерных обществ Республики Беларусь, членом Президиума Белорусского общества изобретателей и рационализаторов, членом бюро Отделения физики, математики и информатики НАЛ Беларуси, членом Советов БГУИР и БГУ. В 2001 г. избран председателем Международной Комиссии по признанию и эквивалентности учебных курсов, документов в области образования и ученых степеней международного Координационного совета выпускников учебных заведений (ИНКОРВУЗ-21), а также членом Международного комитета по присуждению премии "Глобальная энергия". В 1997 г. принят в члены Международного института инженеров по электротехнике и электронике (ШЕЕ, США).
За особые заслуги в развитии города Любани и района А.П. Достанко в 1999 г. был избран Почетным гражданином города.
Академика А.П. Достанко отличают высокая научная компетентность, глубокие научно-педагогические знания и опыт, чуткость и доброжелательность, трудолюбие, целеустремленность, а также высокая государственная ответственность за порученное дело.
А.П. Достанко родился в д. Обчин Любанского района Минской области. С 1945 г. учился в Обчинской неполной средней школе, затем перевелся в Реченскую среднюю школу Любанского района, которую успешно закончил в 1955 г. В 1957 г. поступил в Таганрогский радиотехнический институт (ТРТИ, первый радиотехнический институт, созданный в СССР в 1952 г.) и окончил его в 1962 г. по специальности "Электронные приборы".
Научно-исследовательской работой в области микроэлектроники А.П. Достанко начал заниматься еще в студенческие годы (1960--1962 гг.): выполнил дипломный проект "Получение р-п-переходов электронной бомбардировкой". Одним из первых в институте по результатам данного проекта создал способ электронно-лучевой полировки материалов (полупроводников, диэлектриков, металлов), который впоследствии был внедрен в производство электронно-лучевых приборов на Нальчинском электровакуумном заводе.
После окончания института А.П. Достанко в 1962 г. был распределен в первую в СССР проблемную лабораторию по микроэлектронике, созданную в Таганрогском радиотехническом институте. Как ученый и педагог он начал формироваться под руководством крупного специалиста в области схемотехники, особенно высоковольтной, зав. кафедрой электровакуумной и полупроводниковой техники кандидата технических наук Г. В. Дудко. Работал младшим научным сотрудником, руководителем сектора по микроэлектронике, начальником отдела электронно-лучевой технологии по проблемам создания электронно-лучевых установок высокого и сверхвысокого вакуума для локального модифицирования твердотельных структур; разработки высоковольтных технологических источников питания и многофункциональных металлических вакуумных камер, которые в начале 70-х гг. в СССР не производились; разработки электрохимических и вакуумных процессов формирования пленочных структур из благородных и тугоплавких металлов и др.
В 1968 г. в Совете Таганрогского радиотехнического института А.П. Достанко защитил кандидатскую диссертацию "Получение и исследование тонкопленочных и эпитаксиальных элементов кремниевых микросхем" (специальность "Микроэлектроника"). После переезда в г. Минск в 1970 г. продолжил работы в этом же направлении в Минском радиотехническом институте, чему немало способствовало создание под его руководством в 1974 г. кафедры технологии радиоэлектронной аппаратуры и формирование на кафедре творческого и квалифицированного коллектива педагогов и научных сотрудников. Им впервые в Беларуси выполнена докторская диссертация по исключительно микроэлектронной специальности "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы и технология их производства" на тему "Исследование и разработка процессов металлизации полупроводниковых приборов", которая была успешно защищена в 1979 г. в Московском институте электронной техники. В диссертации концептуально разработаны общие принципы интенсификации базовых технологий производства БИС и СБИС, проведены теоретические исследования физико-химических процессов при нанесении, удалении и перераспределении веществ в микро- и нанообъемах твердых тел, создан универсальный комплекс программ и определена стратегия их применения при моделировании и оптимизации технологических процессов методами математической статистики и теории планирования эксперимента, проведены глубокие теоретические и экспериментальные исследования характеристик плазмы и ионных пучков инертных, химически активных газов и паров металлов, изучены процессы при обработке микроизделий инфракрасным излучением, разработаны принципы создания высокоинформативного тепловизионного пирометрического оборудования и автоматических систем управления термическими процессами в диапазоне 450--1700 К на его основе.
Формированию А.П. Достанко как ученого и педагога в огромной степени способствовало то, что свою научную и жизненную школу он проходил под руководством своих учителей, крупных ученых и педагогов - академика РАН, лауреата Нобелевской премии доктора технических наук, профессора Ж. И. Алферова и доктора технических наук, профессора Ю. Д. Чистякова.
На протяжении всего периода творческой деятельности А.П. Достанко вносит достойный вклад в развитие науки в области микроэлектроники. Им опубликовано лично и в соавторстве более 600 научных и общественно-политических трудов, в том числе монографии "Пленочные токопро-водящие системы СБИС" (Минск, 1989), "Плазменные процессы в производстве изделий электронной техники" (в 3 т., Минск, 2000-2001), "Ультразвуковые процессы в производстве изделий электронной техники" (в 2 т., Минск, 2002), "Процессы плазменного нанесения покрытий" (Минск, 1999), "Технология и техника прецизионного лазерного модифицирования твердотельных структур" (Минск, 2002), "Модификация поверхности твердых тел в неравновесной газоразрядной плазме" (Минск, 1996), "Познавательные действия в современной науке" (Минск, 1987), "Компьютерное моделирование процессов плазменного напыления покрытий" и др. Монография "Плазменная металлизация в вакууме" (Минск, 1982) удостоена премии Министерства высшего и среднего специального образования СССР. Справочник "Благородные материалы" (Москва, 1984) впервые издан в СССР и впоследствии переиздан в США. Создано около 300 изобретений, большинство из которых используется в народном хозяйстве и учебном процессе, многие запатентованы за границей.
Изобретения, созданные Анатолием Павловичем начиная с 1963 г., являются неотъемлемым звеном материализации фундаментальной науки в цепочке от идеи "на кончике пера" до реального производства изделий микроэлектроники и сосредоточены в таких областях, как многокомпонентные сплавы и химические соединения токопроводящих систем на основе тугоплавких металлов; ионно-лучевая техника и интегральная технология формирования микрогетерогенных структур изделий микроэлектроники на основе металлов, сплавов, химических соединений; формирование пленочных элементов интегральных схем НЧ и СВЧ плазменными методами в химически активных и нейтральных средах; программно-управляемое физико-термическое оборудование инфракрасного нагрева для производства изделий микроэлектроники; контрольно-измерительное и диагностическое оборудование и устройства управляемых технологических процессов микроэлектроники; технологические процессы, материалы и оборудование защитных покрытий, направленных на экономию драгметаллов; технологические процессы формирования элементов интегральных схем по "мокрой" и "сухой" технологии; высокоэффективные процессы для электрической изоляции элементов интегральных схем и их защиты, модульное и вакуумное многофункциональное оборудование. За заслуги в изобретательской деятельности и широкое использование созданных изобретений в народном хозяйстве Указом Президиума Верховного Совета СССР в 1987 г. ему присвоено почетное звание "Заслуженный изобретатель СССР".
За период своей творческой научной деятельности А.П. Достанко создал физико-химические основы процессов модифицирования микрообъемов твердых тел в полислойных композиционных структурах высокоэнергетичными потоками частиц. Он теоретически обосновал и экспериментально реализовал физические явления селективного ионного распыления, фазового расслоения в многокомпонентных пленочных структурах и восходящей диффузии легкого компонента под воздействием ионной бомбардировки; разработал принципы построения интегрированных программно-управляемых модульных технологических систем.
Являясь большим энтузиастом дела, которому он посвятил всю свою жизнь, Анатолий Павлович находился у истоков новых форм организации научных исследований и проведения учебного процесса: являлся руководителем созданных по его инициативе лабораторий двойного подчинения, отраслевой лаборатории МЭП "Технология создания микрогетерогенных структур радиационными электрофизическими методами" и отдела проблемной лаборатории, научно-исследовательского комплекса кафедры современных электронных технологий с элементами хозрасчетной деятельности, лаборатории вакуумных технологий, созданной совместно с Сианским электронным университетом (Китай). Под его научным руководством успешно выполнены две республиканские комплексно-целевые программы по новым технологиям в области электроники ("Металлизация", "Технология") и две государственные научно-технические программы ("Диагностика", "Диагностика, медицинская техника и оборудование"). За разработку и внедрение комплекса высокоэффективных технологических процессов и оборудования для производства изделий микроэлектроники в 1982 г. ему присуждена Государственная премия Белорусской ССР в области науки и техники, а в 1991 г. -- премия Совета Министров Республики Беларусь за разработку и внедрение высокоэффективных ресурсосберегающих технологий.
Около 40 лет А.П. Достанко творчески и результативно занимается педагогической деятельностью. Он является организатором кафедры технологии радиоэлектронной аппаратуры, которая впоследствии была преобразована в кафедру электронной техники и технологии.
С 1986 г. по 1993 г. А.П. Достанко был проректором, первым проректором Минского радиотехнического института и БГУИР. За цикл учебников и учебных пособий для высших и средних специальных учебных заведений по технологии производства ЭВМ, физико-химических и технологических дисциплин радио- и электронно-вычислительного профиля в 1996 г. ему присуждена Государственная премия Республики Беларусь.
А.П. Достанко находился у истоков создания и является организатором национальной системы аттестации научных и научно-педагогических кадров высшей квалификации, в которой создано 25 экспертных советов и 185 советов по защите докторских и кандидатских диссертаций. С декабря 1992 г. по январь 2002 г. он являлся первым Председателем Высшей аттестационной комиссии при Совете Министров Республики Беларусь, Председателем Высшей аттестационной комиссии при Кабинете Министров Республики Беларусь, Председателем Высшего аттестационного Комитета Республики Беларусь, Председателем Государственного Высшего аттестационного Комитета Республики Беларусь.
А.П. Достанко на протяжении всего времени успешно сочетает научную и педагогическую деятельность с большой научно-организационной и общественной работой. С января 1997 г. по сентябрь 2001 г. он являлся членом правительства Республики Беларусь, членом подкомитета по государственным премиям Республики Беларусь в области науки и техники, членом Комиссии по вопросам государственной научно-технической политики при Совете Министров Республики Беларусь, главным редактором созданного по его инициативе и учрежденного ВАК Беларуси журнала "Аттестация", членом редакционных коллегий журналов "Вышэйшая школа", "Весці НАН Беларусі, "Изобретатель", "Материалы, технологии и инструмент", "Горная механика" и ряда научных сборников, членом международного редакционного совета научного журнала "Физическая инженерия поверхности" (Украина), "Электроника и электротехника" (Литва), Председателем Минского областного Совета научных и инженерных обществ Республики Беларусь, членом Президиума Белорусского общества изобретателей и рационализаторов, членом бюро Отделения физики, математики и информатики НАЛ Беларуси, членом Советов БГУИР и БГУ. В 2001 г. избран председателем Международной Комиссии по признанию и эквивалентности учебных курсов, документов в области образования и ученых степеней международного Координационного совета выпускников учебных заведений (ИНКОРВУЗ-21), а также членом Международного комитета по присуждению премии "Глобальная энергия". В 1997 г. принят в члены Международного института инженеров по электротехнике и электронике (ШЕЕ, США).
За особые заслуги в развитии города Любани и района А.П. Достанко в 1999 г. был избран Почетным гражданином города.
Академика А.П. Достанко отличают высокая научная компетентность, глубокие научно-педагогические знания и опыт, чуткость и доброжелательность, трудолюбие, целеустремленность, а также высокая государственная ответственность за порученное дело.